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真空炉出现在20世纪30年代左右。1927年，美国制造了电工材料真空退火炉。1953年，工业上使用真空自耗电弧炉冶炼海绵钛。20世纪50年代左右，真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年，美国研制出油淬真空炉。

真空炉一般由炉腔、电加热装置、密封炉壳、真空系统、电源系统和温度控制系统组成。炉壳采用碳钢或不锈钢焊接，可拆卸部件的结合面采用真空密封材料密封。为了防止炉壳变形和密封材料受热变质，真空炉壳一般采用水冷或风冷冷却。炉子位于密封的炉壳内。根据炉子的用途，炉子中有不同类型的加热元件，如电阻器、感应线圈、电极和电子枪。在冶炼金属的真空炉炉膛内安装坩埚，有的还配有自动浇注装置和装卸物料的机械手。真空系统主要由真空泵、真空阀和真空计组成。
真空炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉和电子束炉(又称电子轰击炉)。
真空炉按结构可分为立式和卧式系列，立式系列又可分为钟罩升降式和底盘升降式。卧式分为单门结构和前后双门结构。炉体采用水冷夹层结构。
加热保温室可选择全金属型和复合型。全金属型由耐热不锈钢和钼网组成。它由复合耐热不锈钢、钼网、碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维制成。选择取决于用户的工艺条件和对工艺环境的要求。
加热器有几种类型，如镍铬丝(带)、钼丝(带、棒)、石墨等。具体选择取决于用户要求的最高温度。加热器分布方式有四面加热和全方位加热两种，保证了用户对炉内温度均匀的要求。
冷却系统有罗茨鼓风机外循环结构、离心风机外循环结构、冷壁离心风机内循环结构等几种类型，满足不同冷却速率的要求。
抽真空系统包括离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵等。，根据极限真空度指标选择。
温度由进口智能温控器控制，可实现升温、恒温、降温的自动控制功能；具有工艺曲线存储功能，可存储多条不同的工艺曲线；具有升降温速度可调、时钟精确的功能，可同时显示实际温度、设定温度等多种参数。具有笔滨顿参数自算和断电保护功能。
具有完善的报警和保护措施。
配有进口多点记录仪，可记录全过程的真空度、压力、温度等工艺曲线，便于工艺分析、质量监控和生产管理。
真空计可选用高可靠性的进口数字式智能真空计或国产高品质真空计，保证真空度与温度控制的联动，满足工艺要求。
全过程控制由进口可编程逻辑控制器(笔尝颁)完成，所有动作均有联锁保护。有两种工作模式:手动和自动。用户可以选择全手动工作模式，也可以选择工控机群控模式。