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在清洁真空气氛炉的过程中，首先要用保护气体尽快将整个炉内的空气赶走。一般来说，保护气体应在电炉温度上升之前进入炉内。它们可以通过不同的进气口进入其中，排气口的针阀要开到最大，让空气尽快排出。

一般来说，如果保护气体的体积是真空气氛炉的十倍左右，炉内的氧浓度可以降低到十毫帕斯卡左右。在这种情况下，当炉内氧气浓度符合产物工艺时，可关小整个排气口的针阀，最大限度地节省炉内保护气体的使用。然后，关闭整个炉口，通过流速使用入口。在使用过程中，内部必须

此外，还可以用真空泵抽真空，将整个设备的任意一个排气口与真空软管的位置相连，对整个炉腔进行预抽真空，通入保护气体，然后将真空气体完全排出。