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压缩空气停止
1、压缩空气异常报警,设备停止运转,应尽快去备用压缩机房,让其恢复工作。
2.如果真空中的压缩空气异常报警,并且需要很长时间才能恢复,则停止真空并停止设备。
真空烧结炉主要用于半导体元件和功率整流器件的烧结过程。它可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它是特种半导体设备系列中的一种新型工艺设备。设计理念新颖,操作方便,结构紧凑,可在一台设备上完成多种工艺流程。也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。下面,小编就给大家介绍一下真空烧结炉的应急措施。
高真空烧结炉冷却水异常
1.确认加热电源已经停止。
2.如果炉外漏水,冷却水量异常,应尽快采取应急措施。如果能保证水量,请保持真空。如果无法采取紧急措施,保持原样,并确认设备冷却。
3.当冷却水出现异常时,设备停止运行,并立即接通应急冷却水。
4.当温度较高时(超过200℃视为高温),如果停止冷却水,如果不能紧急送水,可能会损坏水冷电极、热交换器、真空室外壳和泵。
停电;灯火管制
1.停电时,如果断水,应立即接通备用冷却水,并接通水源。
2.如果在非加热、加热和冷却期间能尽快恢复,重新启动设备。如果需要长时间继续运行,请保持设备原样。
3.如果在加热和冷却过程中可以尽快恢复,重新启动设备。如果需要很长时间,就保持原样,让设备自然冷却。
加热电源故障
1、水压,当水压低于0.15惭笔补时,压力表报警。
2.接地故障。
3.对于真空放电,水冷电极与加热器的连接处必须连接牢固,最好与反射器绝缘。
4.如果炉内压力在13.3-66.5笔补(这个真空度容易放电)。停电和断电的原因可以认为是介质击穿引起的放电。
停止充气(氩气或氮气)。
1.开始抽真空前,请确认充气时间长或无法充气时,气体管道是否堵塞。
2.如果气路没有问题,检查电磁阀和充气阀的动作。为了安全起见,在检查之前,应停止所有与之相关的设备。
3.当充入真空室的空气无法停止时,当泄压阀动作时,所有气体系统包括供气阀和管道都应关闭。
4.确认充气管是否漏气,漏气会影响产物质量。
6真空室压力恶化
1.当真空排气时间比平时长时,应停止设备进行检查。根据真空室中的结构在不同状态下收缩的影响,压力也可能升高。
2.通过压力上升试验或氦泄漏检测确认漏气和放气的影响。
在真空和保护气氛中,金属、陶瓷和一些难熔金属中间化合物粉末被加热和烧结。为了获得具有一定密度和机械性能的材料,一般采用两种工艺。即加压烧结和无压烧结。压力烧结工艺是将粉状材料置于真空和保护气氛下的高碳模具中,然后高温加热至软化状态,压制成型。这一过程只能通过真空热压烧结来实现。烧结炉具有高温、高真空、高热压的特点。目前这种炉型在国内还没有见到定型产物。