石墨舟该如何清洗槽内污垢?
2022年07月22日
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石墨舟
在分析了晶舟的涂层情况后,工艺师将确定石墨晶舟是否需要清洗,以及是否需要更换卡点。生产时,要清洗的船艇会交给设备人员进行清洗。
在确定石墨舟需要清洗后,设备、生产和技术将检查石墨舟。做了以上检查后,接下来就是缩放的方法:
1.将石墨舟吊入专用烘箱中,关闭烘箱门并锁好;打开电源开关-风扇开关-加热开关-报警开关;恒温器设定温度为80度。石墨舟在烘箱中干燥6-8小时(经检测,石墨舟与使用前的石墨舟无异,方可取出)。
2.将温度设置为20度。一般炉内石墨舟冷却半小时达到常温即可取出。
3.清洗后放入水槽,用水枪冲洗,关闭排水阀,排水,以水没过船为准。冲洗通常需要2个小时。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
4.拧紧石墨舟上的所有螺母,并检查石墨舟的所有陶瓷部件。工艺点的石墨舟需要更换。取出后需要进入维修间的专用架子进行维修。以上是石墨舟表面的处理方法。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
5.打开酸罐的排水阀。废酸排出后,用水枪冲洗酸罐。
6.清洗后,将石墨舟从水箱中取出,用气枪吹掉表面明显的水珠。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
7.关闭阀门,将石墨舟放入酸罐中,打开进水阀,向酸罐中放入纯水,直至水淹没石墨舟,关闭水阀。然后在酸罐中加入贬贵酸(4瓶),关闭清洗机的窗口,然后开始清洗(在酸中浸泡6小时左右)。清洗时戴防酸碱手套,将石墨舟从酸浴中取出,看是否清洗干净,如果没有及时清洗干净,继续清洗,直到清洗干净。
石墨舟除锈前的检查工作:
石墨舟使用近100次时,操作人员需要及时检查涂层情况,出现涂层异常,需要清洗确认。
硅片石墨舟内,正常镀膜颜色为蓝色,晶片内有非蓝色、多种颜色或晶片间色差大,均为异常镀膜,需通过工艺确认异常原因。
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