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      将新石墨舟及运用超越叁年的旧石墨舟饱满后进行笔贰颁痴顿表面的表层的镀膜。新石墨舟表层平整度好，石墨舟片导电性一致，塑料膜分子式能够均匀地堆积在单晶硅片表层，片间均匀性更高品质。
       新石墨舟饱满后在堆积时仍有一部分等离子体在石墨舟上边堆积，运行次数小于叁十次时，随着着运行次数的进步，石墨舟上边堆积的等离子体下降，片间均匀性越佳。运行次数超出叁十次后，随着着运用次数的进步，石墨舟片内壁与单晶硅片碰触边际处塑料膜变厚，电场反而强劲，形成许多的低温等离子体堆积，易出现不一样水准的边际发白情况，导致片间均匀性数次下降。