煅烧石墨加工的操作规程是什么?
2023年10月13日
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石墨加工
石墨是碳的一种同素异形体,为灰黑色,不透明固体,密度为2.25克每立方厘米,熔点为3652℃,沸点4827℃。化学性质安稳,耐腐蚀,同酸、碱等药剂不易产生反应。687℃时在氧气中燃烧生成二氧化碳。可被强氧化剂如浓硝酸、高锰酸钾等氧化。可用作抗磨剂、润滑剂,高纯度石墨用作原子反应堆中的中子减速剂,还可用于制作坩埚、电极、电刷、干电池、石墨纤维、换热器、冷却器、电弧炉、弧光灯、铅笔的笔芯等。
煅烧石墨加工的操作规程:
一、作业的分配,为生产优质产物奠定根底。
二、职位的职责,如煅烧石墨零件的制备、石墨零件的清洗、石墨零件的枯燥和煅烧。
叁、工艺原理,即通过高温煅烧去除石墨加工过程中的挥发性物质,避免在硅芯的复原和拉伸过程中杂质污染多晶硅。
四、工艺目标
真空泵低真空至30格栅(1虫10-3档)。
2、分散泵高真空至90格(1x 10-3档)。
3、烘烤炉高压发动后,升压20分钟,每次0.5痴。
4、煅烧炉温度至1550℃。
五、操作方法
1、欢腾冷却水阀。
2、翻开真空泵。
3、闭式分散泵制动刀、预热分散泵。
4、当低真空到达30格(1 x 10-3档)时,翻开真空阀并封闭低真空阀。
5、翻开高真空阀,高-90(1虫10-3档)。
6、翻开高压开关并在20分钟后添加电压。当真空度为80-90度时,压力添加到8(齿5),炉温为1550℃,恒温2-3小时。
7、缓慢停止冷却,通常10分钟,停止高压电源,停止分散泵,封闭真空阀,停止炉子,封闭冷却水阀。
8、撤除炉子后,戴上口罩和高纯度手套,取出石墨片,用干净的塑料袋密封。
9、急停:先停真空泵,再堵截电源,最后堵截水。
煅烧石墨加工的操作规程:
一、作业的分配,为生产优质产物奠定根底。
二、职位的职责,如煅烧石墨零件的制备、石墨零件的清洗、石墨零件的枯燥和煅烧。
叁、工艺原理,即通过高温煅烧去除石墨加工过程中的挥发性物质,避免在硅芯的复原和拉伸过程中杂质污染多晶硅。
四、工艺目标
真空泵低真空至30格栅(1虫10-3档)。
2、分散泵高真空至90格(1x 10-3档)。
3、烘烤炉高压发动后,升压20分钟,每次0.5痴。
4、煅烧炉温度至1550℃。
五、操作方法
1、欢腾冷却水阀。
2、翻开真空泵。
3、闭式分散泵制动刀、预热分散泵。
4、当低真空到达30格(1 x 10-3档)时,翻开真空阀并封闭低真空阀。
5、翻开高真空阀,高-90(1虫10-3档)。
6、翻开高压开关并在20分钟后添加电压。当真空度为80-90度时,压力添加到8(齿5),炉温为1550℃,恒温2-3小时。
7、缓慢停止冷却,通常10分钟,停止高压电源,停止分散泵,封闭真空阀,停止炉子,封闭冷却水阀。
8、撤除炉子后,戴上口罩和高纯度手套,取出石墨片,用干净的塑料袋密封。
9、急停:先停真空泵,再堵截电源,最后堵截水。
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