煅烧石墨加工的操作规程有哪些?
2023年10月18日
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煅烧石墨加工
煅烧石墨加工的操作规程:
一、作业分配
提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座,为生产优质太阳能级多晶硅奠定基础。
二、职位的责任
1、煅烧石墨零件的制备
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅烧
叁、流程原理
石墨加工中挥发性物质经过高温煅烧除去,以避免杂质污染多晶硅在还原和拉伸硅芯。
四、工艺目标
1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)
2、分散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)
3、焙烧炉高压启动后20分钟升压,每次0.5痴。
4、煅烧炉温度至1550℃
五、泊车及紧迫泊车程序及操作方法
1、沸腾冷却水阀
2、翻开真空泵
3、闭式分散泵制动刀、预热分散泵
4、当低真空达到30格栅(1x 10-3齿轮)时,翻开真空阀,封闭低真空阀。
5、翻开高真空阀,高到90格栅(1x 10-3齿轮)
6、翻开高压开关,20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时,压力增加到8(虫5),炉温为1550℃,恒温2-3小时。
7、停止:缓慢冷却,通常10分钟,停止高压电源,停止分散泵,封闭真空阀,停止炉子,封闭冷却水阀。
8、拆炉:拆炉后,戴好口罩和高纯手套,将石墨件拆下,用干净的塑料袋密封。
9、紧迫泊车:先停真空泵,然后停电,最终停水。
六、石墨加工常见事端的剖析与处理
(1)停水:立即封闭真空泵阀门,然后封闭电源。
(2)停电:封闭真空泵阀门,等候石墨炉和分散泵温度降至室温,然后封闭电源,最终封闭循环水阀门。
(3)不能抽真空:停炉查看密封件的密封状况。
七 连锁、报警
水压、温度、真空、电压和电流
八、设备清单
循环水体系、真空体系、分散泵、石墨煅烧炉
九、石墨加工工艺流程
石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温
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