石墨热场的设计制造及特性应用是什么?
2023年11月16日
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石墨热场
直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,石墨热场系统的作用是指为了熔化硅料,并使单晶成长保持在必定温度下进行的整个系统。
石墨热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(叁瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了避免漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
单晶炉石墨热场简略的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸、22寸和24寸的石墨热场。一种盛行的石墨热场行业标准规划规划计划是选用石墨材料制作热场隔热部件。标准的石墨保温材料由板状或许多层毯状石墨化碳纤维材料组成,在接近热场中心的内外表往往需求加覆一层石墨纸或碳碳复合材料薄板用来提高热反射率和避免高压气流的冲刷。
因为等静压石墨热场材料自身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需求预留额定的空间。石墨材料具有优良的隔热功能,本钱一般较金属屏低,而且十分易于使用。就制作本钱,耐用性和可维护性而言,石墨隔热软毡较石墨隔热硬毡具有必定的优势。经过生产实践,金属隔热屏往往不适于环境恶劣的真空钎焊工艺。
石墨热场厂家用石墨材料制作石墨热场的隔热部件,实践证明,尽管在钎焊工艺中会有许多焊料沉积在石墨隔热材料的外表,可是却不会产生熔解的焊料与石墨隔热材料的熔合现象。尽管有人会质疑,以为石墨材料比金属材料更容易吸收水分,水分对钎焊工艺过程危害很大,可是,实践证明热场循环往复的升温与降温会很好地排除石墨隔热材料中的水分。
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