如何延长石墨热场器件寿命?
2023年11月17日
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石墨热场
石墨热场是一个热体系。在机械中,一般是指单晶炉的热场,即单晶炉内的热体系。
1.单晶炉是一种惰性气体(氮气、氦气)环境,用石墨加热器将多晶材料如多晶熔化,选用拉法生长无位错单晶的设备。
2.石墨热场便是一套用于拉单晶硅的石墨加热体系。最常见的是18英寸的石墨热场。
3.众所周知,热场部件如加热器、叁叶锅、石墨盘、热屏等都是由石墨加工而成的。
4.在生产过程中,加热器部件经常损坏。
5.要延伸石墨热场设备的寿数,应采纳哪些措施?
6.石墨器材的损坏,主要有人为和蜕变两个原因。
7.人事方面只要加强管理,加强员工预防意识,就能将丢失降到最 低。
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