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众所周知，石墨坩埚使用说明书中的缺陷会减少石墨坩埚的使用时间，进而增加生产厂家自身的成本。今天大家就实际谈谈高纯石墨热场制造中的难题，以及人们应该如何解决。

   随着社会经济发展的趋势，许多单晶硅制造商都精于高纯石墨热领域的应用。原因有二:*高纯石墨毡便于保温使用，厚度超过100mm，合理保证了轴向系数温度会小的标准。其次，由于热量接近，石墨坩埚的厚度可以超过250mm，上下捆绑样品的保温桶规格会足够大，有足够的垂直热管散热。

   电热器、三瓣坩埚、高纯石墨托和隔热罩等热场的组成都是由石墨制成的。在加工过程中，发热元件经常损坏。那么高纯石墨中元器件损坏的原因是什么，应该采取什么对策来延长高纯石墨中元器件的使用寿命呢？

   高纯石墨中成分的破坏主要是人为和变质造成的。在人的因素层面，如果改进管理方法，加强员工的安全意识，就可以把伤害降到最低。这里是讨论变质的关键。*祖先们掌握了高纯度石墨的相关特性。

1.独特的抗热震性。高纯石墨有各种热变形，所以宏观热膨胀系数不大。在温度剧烈变化的情况下，高纯石墨的体积变化不大。加上其优异的传热性能，高纯石墨具有优异的抗热震性。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;

2.耐热性，高纯石墨的熔点极高，在真空泵里是3850度，底压上升，上升温度是2200度。与普通原料不同，当温度升高时，高纯石墨不仅不软化，其抗压强度反而增加。在2500度时，高纯度石墨的抗压强度加倍。

最重要的是，高纯石墨应能在高温下长时间稳定工作。

总的来说，花瓣石墨坩埚相对于其他高纯石墨部件，如保温罩、电热器等，都是由相同的原料、相同的厂家、相同的办公环境制成的。为什么使用寿命远远短于保温罩和电暖器？叁瓣石墨坩埚开裂的关键原因来自应时坩埚。

1.如果加热时间过长，方解石坩埚质量不合格，原料辫丑值不超过规定值，就会造成漏硅、渗硅。熔融硅渗透到叁瓣坩埚之间的缝隙中，中间冷却后，会损坏叁瓣坩埚，另一种是使叁瓣坩埚相互粘连。炉子清理的时候，分开了就坏了。

2.在整个加热过程中，只有叁瓣坩埚的热源来自两个层面，一个是电加热器的辐射源，另一个是来自应时坩埚的传输，导致叁瓣坩埚遇到不均匀的热量，可能会导致叁瓣坩埚在加热过程中在某些方向膨胀，在另一些方向塌陷，从而导致其破裂。

3.由于熔融硅的相对密度高于固态硅，在整个制冷过程中，底锅材料会使应时坩埚开裂，而应时坩埚迎合了叁瓣坩埚。当应时坩埚开裂产生的地应力超过叁瓣坩埚所承受的地应力时，叁瓣坩埚就会开裂，这也是为什么叁瓣坩埚在火锅底料剩余过多的情况下会开裂的原因。