石墨电子烧结模具用于各种类型
2021年09月16日
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电子烧结模具
烧结用石墨电子烧结模具因为高纯石墨具有耐高温、纯度高、高温下尺度稳定、耐热冲击功能好等特色,所以在半导体工业中广泛选用高纯石墨制作各种烧结电子烧结模具。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
(1)电子器材烧结用石墨电子烧结模具。石墨烧结模适用于各种类型的二极管、叁极管、可控硅管等器材的管心烧结,图为部分烧结电子烧结模具实例。选用高频炉区熔法拉制单晶时,还选用石墨舟。
(2)各种绝缘子烧结电子烧结模具。石墨模适用于各种类型的叁极管、硅整流管、可控硅管座的烧结,电容器绝缘子烧结,厚膜及薄膜集成电路绝缘子烧结,超小型继电器、接插件等元件绝缘子烧结电子烧结模具等,图2-5为部分可控硅管和各种绝缘子烧结电子烧结模具。
半导体工业要求所用石墨资料颗粒度要细,颗粒度细的石墨不光容易达到加工精度并且高温强度高、损耗小,特别是烧结用石墨电子烧结模具要求加工精度很高。因为半导体工业所用的石墨器材(包含加热器和烧结模)都需要承受反复加热和冷却过程,为了提高石墨器材的运用寿命,要求所用石墨资料在高温下具有杰出的尺度稳定性和耐热冲击功能。为了满足上述各项要求,目前我国出产了一系列适用于半导体工业所运用的石墨资料,其部分商标和功能列于表
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