真空炉石墨热场加工工艺怎么样?
2022年11月01日
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真空炉石墨热场
在真空炉中,石墨热场是决定单晶硅质量的决定性因素。通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件质量的因素有很多,其中石墨原料的选择和加工工艺非常关键。
由于单晶炉的石墨热场多采用等静压石墨加工,对于石墨产物的加工公司来说,石墨材料的比重大于加工工艺的比重,因此提高石墨热场的利用率是所有石墨产物加工公司都要考虑的问题。因此,在向客户报价时,不仅要考虑石墨原料的理化指标,还要考虑石墨热场的寿命。
清理熔炉是一项技术活。如果清炉不到位,会影响单晶的正常生长。如果清炉轻,单晶不能正常生长。如果清炉重,会导致停炉。清洗单晶炉时,大家要注意以下几点:
1.尝试清除溅在石墨部件上的硅滴。对严重变质的石墨部件应及时向厂长汇报并更换。
2.用刷子和吸尘器清洁各种石墨片。一定要注意清洗管道的重要性。
3.应小心搬运石墨零件,以避免损坏石墨零件。
4.清洗后的石墨零件应放在干净的不锈钢推车上,以避免二次污染。
直拉单晶炉的热系统,即所谓的热场,是指在一定温度下熔化硅并保持单晶生长的整个系统。
热场一般包括(石墨材料)压环、隔热罩、上、中、下隔热罩、石墨坩埚(三瓣坩埚)、坩埚支撑杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流管、石墨螺栓。为了防止漏硅,炉底、金属电极和支撑杆都有保护板和保护套。
21世纪,越来越多的用户开始关注石墨材料。石墨的主要特性有耐高温、导电性、良好的导热性、润滑性等。在新能源引领未来的时代,石墨热场和组件在单晶硅制造中起着关键的载体作用。
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