该怎么延长石墨热场器件的使用寿命?
2022年11月09日
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真空炉石墨件
首先,我们来了解一下石墨的特性。1.耐高温。石墨的熔点非常高,真空下3850度,低压下2200度升华。与普通材料不同,石墨在温度升高时不会软化,而是强度增加。在2500度时,它的抗拉强度加倍。
1.特殊抗热震性。石墨的热膨胀是各向异性的,所以宏观膨胀系数不大。在温度突变的情况下,石墨的体积变化不大。再加上其良好的导热性,石墨的抗热震性好。
石墨热场是一个热力系统。在机械上,一般指单晶炉的热场,即单晶炉内的热系统。单晶炉是在惰性气体(主要是氮气和氦气)中用石墨加热器熔化多晶硅等多晶材料,用提拉法生长无位错单晶的一种设备。石墨热场就是用来提拉单晶硅的一整套石墨加热系统。常见的是18寸石墨热场。
众所周知,热场的部件,如加热器、三瓣坩埚、石墨支架、隔热罩等,都是由石墨制成的。在生产过程中,我们经常会遇到加热装置损坏的现象。那么石墨热场器件损坏的原因是什么,应该采取什么措施来延长石墨热场器件的寿命呢?石墨器件损坏的原因主要有两个:人为和变质。一方面,只要加强管理,强化员工的防范意识,就可以把损失降到低点。本文主要讨论变质问题。
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