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真空炉有很多种，对真空系统有不同的要求。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系统。以下是一些常见的真空系统。

1.高真空系统
适用于真空度为1.333× 10 ~ 6.6× 10帕的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉等。通常由三级真空泵机组组成，主泵通常采用油扩散泵和离子泵，一级泵多采用旋转式机械泵或滑阀式机械泵，前级泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。

真空系统的基本参数

真空热处理炉真空系统的主要参数是极限真空度、工作真空度、抽气时间、抽气速率和漏气率(升压率)。

极端真空度真空炉在空炉和冷态下所能达到的窜高真空度称为极端真空度。真空度是评定真空炉各部件加工装配质量、真空机组的抽气能力和极限真空、炉体密封和漏气、真空卫生的重要指标。通常真空炉的极限真空度应该比主泵低一个数量级左右。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;

2.低真空系统

适用于真空度1333 ~ 2 Pa的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多数油封旋转机械泵是主泵。

3.中等真空系统

适用于真空度为1.333 ~ 3× 10 Pa的真空热处理炉。真空系统广泛应用于真空热处理炉，通常由两级真空泵组组成。初级泵多为旋转式机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵(罗茨泵)或油增压泵。