直拉单晶炉热场系统由什么构成?
太阳能光伏职业的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够成长出高质量的单晶,因此创造杰出的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的因素。石墨是单晶成长的载体,石墨在直拉单晶炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
依据实际情况的需要,热场的巨细依据石英坩埚的直径巨细来划分的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。
我们在这里所讲的直拉单晶炉热场系统就是所谓的热场,,热场一般包含压环、保温盖、上中下保温罩、(叁瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来避免漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度最高的时候能够达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。就石墨触摸到的单晶硅加热器形状一般都是直筒状的。一般情况下,加热器选用的高纯石墨加工。
石墨电极的效果平稳固定加热器并经过他岁加热器运送电流。因此在电极要厚重,结实经用、表面要润滑平稳,确保杰出的触摸面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
坩埚托杆、坩埚和托盘一起构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合结实,对中性杰出在下轴进行滚动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是能够调节的。
保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数依据情况而定。下保温罩组成了底部的保温体系,它效果是加强锅底保温,提高埚底温度,削减热量丢失。
保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁触摸处,是为了避免热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的经过。