单晶硅炉用石墨热场是什么?
2023年08月25日
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真空炉
&苍产蝉辫;单晶硅炉用石墨热场,是一个集物理、化学、几何归纳理论为一体,专门研究人员通过多年反复考证,多年经验总结制定。
单晶硅炉热场选用细结构中粗石墨做炉底护盘。保温罩、上下盖选用进口等静压石墨做加热器、坩锅、导流简、托杆、锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。
热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿数。
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