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1.电热元件向工件传热的方式不同
    真空炉的电热元件是通过辐射向工件传热，所以在其他条件相一起，真空炉的温度比非真空炉的要高。不过，只在低温炉中温度差别才比较显着。
2.电热元件与炉内气氛相互作用的条件不同
    电热元件在真空炉内的作业条件比其他状态下要好，特别是比炉内为氧化气氛的非真空炉要好得多。因而，电热元件在真空状态下对立氧化性要求不高。非真空炉电加热器中电热元件作业时除了炉内气氛与电热元件发生化学反应外，某些电热资料，特别是稀有金属，在加热时因吸收很多气体而变脆、易损坏，但在真空状态下这些金属就能较长期而可靠地作业。
3.电热元件资料的挥发速度不同
    电热资料在真空炉内容易挥发，由于随着电热元件温度的升高，其蒸气压也随之添加，故运用寿命降低。从这一点看，真空也给电热元件带来了不利影响。
    对于低、中温真空炉(运用温度不高于1000℃)，一般选用镍铬合金、铁铬铝合金作电热元件;对于高温真空炉，特别是运用温度大于1200℃的真空炉，所运用的电热元件为铝、钨、钽等纯金属以及石墨。非金属电热资料，如碳化硅在真空下其黏结剂会分解，硅化铝在真空下超过1300℃时会软化，因此真空炉很少选用这两种电热资料。
    真空淬火炉停炉后，炉内需保持在66.5LPa以下的真空度。
    炉内有尘埃或不洁净时，使用酒精或汽油浸湿过的绸布擦拭洁净并使其枯燥。
    炉体上的密封结构，真空体系等零部件拆装时，使用酒精或汽油清洗洁净并通过枯燥后，涂上真空油脂再组装上。
    真空淬火炉炉子外表面经常擦拭，料理清洁洁净。
    零件及零件车需清洗枯燥后方可进入炉内，防止水分、污物进入炉内。
    各传动件发现卡位、限位禁绝，控制失灵等现象时，应立即排队，不要强操作，以免损坏机件。
    机械传动件应定期加油或换油保养。
    真空泵，阀门，丈量仪器，热工仪表，电气元件等配套件，均按产物的技能阐明予以维修和保养。