了解一下单晶炉热场结构是什么?
在太阳能光伏职业,的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够成长出高质量的单晶,因此创造杰出的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的要素。石墨是单晶成长的载体,石墨在直拉单晶成长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
依据实际情况的需求,热场的大小依据石英坩埚的直径大小来划分的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般情况下φ18"~φ22"居多。
我们在这里所讲的单晶炉的热体系就是所谓的热场,热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、(叁瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来避免漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
1、加热器
加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时分能够达到1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般情况下,加热器选用的高纯石墨加工。
2、石墨电极
石墨电极的作用平稳固定加热器并经过他岁加热器运送电流。因此在电极要厚重,结实耐用、外表要润滑平稳,确保杰出的接触面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
3、石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘
坩埚托杆、坩埚和托盘一起构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合结实,对中性杰出鄙人轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是能够调理的。
4、保温罩
保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数依据情况而定。下保温罩组成了底部的保温体系,它作用是加强锅底保温,提高埚底温度,削减热量损失。
5、保温盖、导流筒
保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
6、压环
石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁接触处,是为了避免热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的经过。