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  真空烧结炉石墨件主要用于半导体元件和功率整流器件的烧结工艺。 可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。 是半导体专用设备系列中的一种新型工艺设备。 结构紧凑，可在一台设备上完成多项工艺流程。 也可用于其他领域的真空热处理、真空钎焊等工艺。 那么我们来看看真空烧结炉在以下三种情况下可以采取的应急措施。

一.加热电源断电

1、水压低。 当水压低于0.15MPa时，压力表报警。

2. 接地故障。

3、真空放电时，水冷电极接头与加热器的连接必须牢固，与反射屏的绝缘性要好。

4、如果炉内压力为13.3-66.5Pa（这个真空度容易放电）。 停电，停电的原因可以认为是由于介质击穿引起的放电。

二.停止膨胀气体

1、抽真空开始前，如果充气时间长或无法充气，请确认燃气管道是否堵塞。

2、如果燃气管道没有问题，检查电磁阀和充气阀的动作。 为安全起见，所有与其相关的设备应在检查前停止。

3、当无法停止向真空室充气时，当泄压阀动作时，例如泄压阀动作时，必须关闭所有气体系统，包括供气阀和管道。

4、确认充气管道是否有漏气现象，如有，将影响产物质量。&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;

叁、停电

1、断电时，如断水，应立即接通备用冷却水，并接通水源。

2、如果设备在不加热、加热和冷却过程中能尽快恢复，重新启动设备，如果需要较长时间继续运行，保持设备原状。

3、如果正在加热和冷却，尽快恢复时重启设备。 如果需要较长时间，请保持原样，让设备自然冷却。